Mikrosysteme

EAN/GTIN:: 9783662712320
Hersteller-Nr.:: 89528849
Kategorie:: Bücher
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Zuletzt aktualisiert: 14. November 2026, 14:21 Uhr

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Produktbeschreibung

Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, welches für die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgewählter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und Lösungsansätze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnologien, werden die speziellen zusätzlichen Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen beschrieben. Des Weiteren werden spezielle Packagings für Mikrosysteme vorgestellt. Im zweiten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Sensoren finden vielfältige Anwendungen – von der industriellen Prozessautomatisierung bis hin zur Medizintechnik, wo sie beispielsweise Vitalparameter überwachen. Auch im Alltag sind MEMS-Sensoren weit...